Вакуумні технології ULVAC

Гвинтові вакуумні насоси сухого ходу ULVAC

Ми пропонуємо наступні серії моделей:

ULVAC LS інноваційний гвинтовий вакуумний насос сухого ходу, який оснащений парою конусоподібних сталевих гвинтів зі змінним кроком, що дозволяє здійснювати насосні роботи поблизу атмосферного тиску. Насос на 1/3 легший, ніж звичайний гвинтовий насос і переважно призначений для чистих застосувань. Проте, він також може використовуватися як передвакуумний насос у вакуумних системах.

ULVAC CR це гвинтові вакуумні насоси сухого ходу з повітряним охолодженням, призначені для чистих та вологих процесів. Вони здатні викачувати до 500 г/год пари (або чистого газу). Завдяки цим властивостям вони підходять як джерело вакууму для вакуумних сушилок, напилювальних пристроїв та випаровувальних систем.

Серії ULVAC LR, HR та UR це спеціально розроблені гвинтові вакуумні насоси сухого ходу, призначені для застосувань, де потрібні обігрівані газові або вихлопні трубопроводи. Ця властивість необхідна у процесах PVD та CVD покриття. Вони також можуть використовуватися як передвакуумні насоси для турбомолекулярних та механічних бустерних насосів.

ECO-SHOCK це аксесуар для моделей гвинтових вакуумних насосів сухого ходу ULVAC LR / HR / UR. Пристрій дозволяє знизити споживання енергії на 80 %. Підтримує насосні роботи з повітрям, азотом та інертними газами, такими як аргон. Підключається до вихлопного трубопроводу.

Серед типових застосувань гвинтових вакуумних насосів сухого ходу::

Детальніша інформація про гвинтові вакуумні насоси сухого ходу ULVAC ►
 

Міні вакуумні насоси ULVAC

Пропонуємо такі модельні ряди:

ULVAC DTC - це малі вакуумні насоси, призначені для лабораторного використання. Усі контактні частини виготовлені з PTFE або FPM, що дозволяє відкачувати корозійні гази. Доступні у чотирьох виконаннях зі швидкістю відкачування від 20 до 240 літрів/хв. Основні переваги включають хімічну стійкість, простоту обслуговування та низьку ціну.

ULVAC DA - це малий універсальний сухий вакуумний насос, підходить для широкого спектру лабораторних застосувань, від маніпуляцій з пластинами до некорозійних лабораторних відкачувальних потреб. Пристрій дозволяє регулювати швидкість відкачування.

Мембранний міні вакуумний насос ULVAC DAU / DTU пропонує високий вакуум зі швидкістю відкачування до 23 л/хв при 60 Гц. Доступний у двох виконаннях. Модель DTU - стійка до корозії та агресивних газів. Вакуумний насос можна використовувати також як передвакуумний насос для турбомолекулярного вакуумного насосу.

ULVAC DAP - це малі вакуумні насоси, призначені для різних точних маніпуляційних операцій. Вакуумні насоси містять гумову мембрану, яка дозволяє дуже чисте та безолійне вакуумне середовище. Вакуумні насоси DAP доступні у чотирьох виконаннях зі швидкістю відкачування від 6 до 18 л/хв.

Міні вакуумні насоси ULVAC DOP є ідеальними джерелами вакууму для вакуумних утримувачів, пінцетів та інших автоматизованих маніпуляційних застосувань. Доступні у виконаннях зі швидкістю відкачування від 44 л/хв до 140 л/хв.

ULVAC DIS - це універсальний "подвійно намотаний" вакуумний насос, який досягає високого рівня сухого вакууму та працює при атмосферному тиску. Його характеристики включають низькі вібрації, низький рівень шуму та високу швидкість відкачування. Вакуумний насос можна використовувати як окремий насос або як передвакуумний насос для турбомолекулярного вакуумного насосу.

ULVAC DISL створює вакуум за допомогою спеціального спірального механізму. Це дозволяє досягти вищої швидкості відкачування, нижчого кінцевого тиску, нижчого споживання енергії та меншого шуму. Вакуумні насоси можуть розвинути швидкість відкачування до 520 л/хв.

Типове використання міні вакуумних насосів включає:

Детальніша інформація про міні вакуумні насоси ULVAC ►
 

Масляні ротаційні вакуумні насоси ULVAC

Пропонуємо такі модельні ряди:

ULVAC GHD - це закритий ротаційний масляний вакуумний насос з двигуном, з'єднаним через магнітну муфту. Це забезпечує запобігання витоку з ущільнення вала, що призводить до подовження терміну служби всього обладнання. Вакуумний насос додатково оснащений інтегрованим зворотним клапаном для захисту від зворотного потоку олії.

ULVAC GLD - високонадійний і потужний ротаційний масляний вакуумний насос з прямим приводом. Відрізняється низьким рівнем шуму та низькими вібраціями. Вакуумний насос оснащений захистом від зворотного потоку олії та газовим попередником для збільшення продуктивності насоса пари води.

ULVAC GCD - корозійно стійкий ротаційний масляний вакуумний насос, призначений для насосу токсичних та корозійних газів та розчинів. Доступний у трьох варіантах зі швидкістю насосу від 50 до 200 л/хв.

ULVAC VS - тихі вакуумні рішення, придатні для безперервної роботи при високих тисках. Доступні у версії з водяним або повітряним охолодженням. Вакуумні насоси були спеціально розроблені для роботи з низькими вібраціями.

ULVAC VD - великокапацитні масляні ротаційні вакуумні насоси з тихим двигуном та легким обслуговуванням. Вакуумний насос містить систему примусової циркуляції олії, яка забезпечує стабільну швидкість насосу під атмосферним тиском.

ULVAC PVD - компактний ремінь-приводний ротаційний вакуумний насос з відмінними властивостями евакуації. Це вакуумне рішення вирізняється низькою вібрацією, низьким рівнем шуму, легким обслуговуванням та послідовною продуктивністю насосу.

Серед типових застосувань масляних ротаційних вакуумних насосів є:

Детальніша інформація про масляні ротаційні вакуумні насоси ULVAC ►
 

Вакуумні насоси з обертовим поршнем ULVAC

Пропонуємо наступні модельні ряди::

ULVAC PKS - це надійні масляні вакуумні насоси з технологією ротаційного поршня. Корпус пристрою виготовлено з високоякісного сплаву, який забезпечує міцність і стійкість до зносу.

Демонтаж та повторний монтаж для обслуговування є простими, так само як і перевірка вихлопних клапанів. Вакуумні насоси доступні тільки у одноступеневому виконанні.

Вакуумні насоси можуть розвивати швидкість відкачування від 96 до 420 м³/год (від 1600 до 7000 л/хв).

Типове використання вакуумних насосів включає::

Детальніша інформація про золотникові вакуумні насос ULVAC ►
 

Рутс насоси ULVAC

ULVAC PRC є великооб'ємним механічним бустерним вакуумним насосом для чистих застосувань. Вакуумний насос не використовує жодної олії у камері насоса, що забезпечує стабільну роботу навіть при відкачуванні водяної пари або розчинників. Моделі серії PRC-A призначені для універсальних, напівпровідникових та процесів зображення з рідкокристалічними дисплеями, що вимагають екстремальної чистоти. Механічні бустери можуть збільшити швидкість відкачування в діапазоні від 10 кПа до 0,1 Па.

Рутс насоси ULVAC PMB-D використовуються як механічні бустери швидкості відкачування та лімітів вхідного тиску. Усі моделі оснащені прямим приводом та універсальним електромотором, швидкість обертання якого може змінюватися. Залежно від вимог, поверхні основних частин вакуумного насоса можуть бути оброблені поверхневим покриттям, що забезпечить стійкість до корозії.

Моделі UKVAC PMB-040C & 060C підходять для великооб'ємного відсмоктування, що потрібно у вакуумних печах для нагрівання, таких як плавильні печі, або вакуумних симуляційних камерах.

ULVAC MBS - це маленький компактний бустерний вакуумний насос з мотором з магнітною муфтою. Це безконтактне ущільнення знижує споживання енергії на 60% та забезпечує нульове витікання олії. Серед переваг рішення - малі розміри, низька вага, стійкість до корозії, тиха та плавна робота та чисте вакуумне середовище.

Типові застосування Рутс насосів включають:

Додаткова інформація про Рутс насоси ULVAC ►
 

Дифузійні насоси ULVAC

Шукаєте дифузійне обладнання для швидкісного відкачування великої кількості газу? Потребуєте досягнути екстремально високої швидкості відкачування? Шукаєте насос, який може генерувати високий та ультра високий вакуум?

Пропонуємо ці 3 модельні ряди:

Дифузійний насос ULVAC PBL досягає максимальної швидкості відкачування на рівні 10–1 Па. Корпуси моделей виготовлені з нержавіючої сталі, що елімінує корозію та забезпечує довгий термін служби.

Дифузійні олійні насоси серії ULVAC PFL мають надійну конструкцію з низьким зворотнім потоком робочої рідини та низькими експлуатаційними витратами. Вони відрізняються високою та стабільною швидкістю відкачування. Є ідеальним рішенням для великоплощинного вакуумного обладнання, як-от вакуумні печі.

Серія ULVAC ULK була спеціально розроблена для застосувань та інсталяцій, де обмежена висота інсталяції насоса. Корпуси насосів виготовлені з нержавіючої сталі, а внутрішні елементи паропроводів з алюмінію.

Серед типового використання дифузійних насосів включають:

Додаткова інформація про дифузійні насоси ULVAC ►
 

Гелієві течешукачі HELIOT 900

Цей швидкий і універсальний вакуумний течешукач призначений для швидкого пошуку витоків. Він може використовуватися як автономний пристрій в режимі сніффера або підключатися до системи ПЛК як частина інтегрованої системи тестування витоків. Гелієвий течешукач поставляється в невеликому портативному корпусі з бездротовим драйвером для планшета.

Системи плазмового горіння

У виробництві напівпровідників виникає потреба у видаленні фоторезисту з витравлених друкованих плат та електронних компонентів. Це робиться за допомогою плазмового спалювання. Цей процес PVD призводить до утворення попелу, який необхідно видаляти. Для цього використовуються системи плазмового спалювання.

Ми пропонуємо продаж і обслуговування систем плазмового спалювання ULVAC серії ENVIRO (ENVIRO 1Xa, ENVIRO 1Xa 2C і ENVIRO Optima) і серії Luminous NA (Luminous NA-8000, Luminous NA-1300 і Luminous NA-1500).