Турбомолекулярні масляні вакуумні насоси та системи

КОНТАКТИ

VAKUUM BOHEMIA UA
Київ, Україна

Tel, Telegram, Whats Up:
+380 964 242 953

E-mail:
info@vakuum-bohemia.com.ua

Турбомолекулярні насоси Welch використовуються для виробництва високого вакууму (HV) та ультра високого вакууму (UHV) до межового тиску 1x10-10 мбар з високою швидкістю насосу.

Окрім стандартних турбомолекулярних насосів серії SST, ми пропонуємо турбомолекулярні насосні системи в корпусі (серія CDK), а також мобільні версії з двоступеневою масляною ротаційною передньою насосом або мембранним насосом (серія STP).

Принцип турбомолекулярного масляного насосу

Турбомолекулярний вакуумний насос переміщує молекули газу, надаючи їм механічний імпульс. Дуже швидко обертаючі лопаті зіткнення молекули газу до нижчих ступенів. Компресійне відношення (тобто різниця тисків) на вході та виході мале, і тому необхідно включати декілька ступенів та використовувати якнайвищі оберти (більше ніж 30 000 хв^-1). Вакуумні насоси не можуть обійтись без попереднього відкачування, яке можуть забезпечити двоступеневі ротаційні масляні вакуумні насоси або одноступеневі вакуумні насоси в комбінації з Рутс насосом.

Вакуумні насоси підходять для створення високого та ультрависокого вакууму. Турбомолекулярні вакуумні насоси є альтернативою дифузійним насосам, проти яких мають перевагу "чистого" вакууму (без пар масла).

Ми пропонуємо наступні 2 типи турбомолекулярних систем:

Компактні турбомолекулярні насосні системи CDK

Йдеться про комплексні вакуумні насоси для генерації високого вакууму та ультрависокого вакууму. Системи CDK вирізняються компактним дизайном та користувацьким дружнім управлінням вакуумної системи.

Усі окремі компоненти вакуумної системи були ретельно розроблені для цієї функції. Турбомолекулярні насоси SST оснащені гібридними коченними підшипниками (керамічними кульками) з твердим мащенням, які запобігають негативному тиску, забрудненню жирами, оліями або їх розкладними продуктами. Це означає, що конструкція виключає залишкове вуглеводневе газове середовище.

Усі системи турбомолекулярних насосів CDK мають автоматичний вимикач для переднасосу. Переднасос автоматично вимикається, як тільки у ємності досягається максимальний тиск. Соленоїдний клапан, у передній вакуумній трубі на турбомолекулярному насосі, одночасно закритий. Тим самим запобігається зворотньому вентиляції турбомолекулярного насоса та ємності.

Серед їх ключових властивостей:

Термін служби вакуумних насосів становить до 10 000 годин роботи.
Рівень шуму значно знижено, щонайменше на 3 дБ (A).
Експлуатаційні витрати на споживання енергії знижені, особливо помітно при використанні кількох турбомолекулярних вакуумних насосів CDK.

Компактні турбомолекулярні насосні системи CDK

Мобільні турбомолекулярні насосні системи STP

Ці мобільні одиниці призначені для швидкого генерування високого вакууму.

Турбомолекулярний вакуумний насос, регулятор та вакуумметри встановлені на центральній алюмінієвій профільній стійці на оптимальній робочій висоті. Передвакуумний насос міцно розміщений на мобільній основі, до якої також приєднано профільну стійку. Вакуумний пристрій (ємність) може бути або фланцевим - встановленим безпосередньо на всмоктувальний отвір турбомолекулярного вакуумного насоса, або насос може бути знятий з кріплення на профільній стійці та під'єднаний безпосередньо до ємності.

Мобільність системи дозволяє розмістити її якомога ближче до камери, що означає, що потрібен лише короткий час вакуумування. Короткі вакуумні лінії забезпечують низькі втрати потоку і, відповідно, високу швидкість насосу з ємності.

Усі турбомолекулярні вакуумні насоси STP / D мають автоматичний вимикач для переднього вакуумного мембранного насоса. Комбінація передвакууму вимикається, як тільки у ємності досягається максимальний тиск. Соленоїдний клапан, у передній вакуумній трубі на турбомолекулярному вакуумному насосі, одночасно закритий. Тим самим запобігається зворотньому вентиляції насоса та ємності.

До ключових переваг цієї системи можна віднести:

Простота експлуатації.
Мобільність для роботи на декількох об'єктах.
Система „все в одному“.
Готова до роботи (підключи і працюй).

Mobilní turbomolekulární čerpací systémy STP

Системи мобільних турбомолекулярних вакуумних насосів містять:

SST турбомолекулярний вакуумний насос з інтегрованим низьким вакуумним ступенем.
Типові системи насосів STP: олійний комбінований двоступеневий ротаційний вакуумний насос і мембранний насос для елімінації конденсації.
Типові системи насосів STP / D: MP 601 T сухий трьохступеневий мембранний вакуумний насос.
Передній вакуумметр MRV 100 з вимірювальним датчиком CAP 121 для автоматичного вимкнення (для типу STP / D).
Соленоїдний клапан у передній вакуумній трубі на турбомолекулярному вакуумному насосі (для типу STP / D).
Алюмінієвий профільний стовп з кріпильними та монтажними елементами, встановлений на мобільній базовій платформі.

Таблиця моделей серії CDK

Модель	Проточність [м3/год]	Макс. вакуум [мбар]	Споживана потужність [кВт]	Підключення	Революції [об/хв]	Вага [кг]	Розміри [(д х ш х в) мм]
CDK 240	50	0,0000005	N/A	KF 40	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 240 UHV	50	0,00000005	N/A	KF 40	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 263	77	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 263 UHV	77	0,00000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 240\|1	50	0,0000005	N/A	KF 40	N/A	16	193 x 344 x 400
CDK 240\|1 UHV	50	0,00000005	N/A	KF 40	N/A	16	193 x 344 x 400
CDK 263\|1	77	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 263\|1 UHV	77	0,00000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400

Таблиця моделей серії STP

Модель	Проточність [м3/год]	Макс. вакуум [мбар]	Споживана потужність [кВт]	Підключення	Революції [об/хв]	Вага [кг]	Розміри [(д х ш х в) мм]
STP 1.1	250	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	20	480 x 500 x 700
STP 5.1	900	0,0000005	N/A	ISO-K 100	N/A	25	480 x 500 x 700
STP D1.1	250	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	20	480 x 500 x 700
STP D5.1	900	0,0000005	N/A	ISO-K 100	N/A	25	480 x 500 x 700

Послуги VAKUUM BOHEMIA UA:

Сервіс вакуумної техніки у замовника.
Ремонт та реасемблея турбомолекулярних вакуумних насосів.
Проєктування та постачання турбомолекулярних вакуумних систем.
Навчання в області вакуумних рішень.

Сервіс вакуумної техніки:

Продаж турбомолекулярних вакуумних насосів та вакуумних технологій.
Оренда турбомолекулярних вакуумних насосів та систем.
Продаж аксесуарів (глушників, фільтрів та частотних перетворювачів).
Консультації в області вакуумних технологій.

Застосування турбомолекулярних вакуумних насосів та систем на практиці:

Комплект здатний генерувати високий і ультрависокий вакуум, тому використовується також у металургії, де застосовується в процесах як вакуумне травлення, напилення і осадження.
У сфері пивоваріння та солодарства ці технології використовуються в аналітичних дослідних лабораторіях, де з їх допомогою проводиться низка аналітичних аналізів.
У галузі нанотехнологій та виробництва напівпровідників ця технологія застосовується при електронній мікроскопії (SEM, TEM), системах Focused Ion-Beam (FIB) та техніках поверхневого аналізу.
Вакуумні насоси є частиною детекційних пристроїв, де необхідно створити глибокий вакуум для видалення вологи.
У мас-спектрометрах використовується двоступенева вакуумна система. Перший ступінь забезпечує ротаційний масляний вакуумний насос, а другий може забезпечити турбомолекулярний вакуумний насос.
Реалізація нанотехнологій та діагностика їхніх продуктів вимагає створення середовища з низьким тиском і в багатьох випадках глибоким вакуумом. Це можуть генерувати турбомолекулярні масляні вакуумні насоси та системи.
Для поверхневої обробки органічних і мінеральних скляних лінз необхідно створити вакуум у вакуумній камері до 10-4 Па. Для насосу тут використовуються турбомолекулярні та дифузійні насоси.